Mittels Rasterkraftmikroskopie kann die Mikrostruktur von Oberflächen bis in den Nanometermaßstab abgebildet und beispielsweise die plasmatechnische Erhöhung der Mikrorauhigkeit von Kunststoffen nachgewiesen werden. Über die Bildauswertung lassen sich mittlere Rauheitswerte berechnen. Unterschiedliche Modi liefern neben der Topografie auch den Materialkontrast.